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飞纳电镜能谱一体机 Phenom ProX是集成化成像分析系统。借助该系统，既可观察样品的表面开/貌，又可分析其元素组分。

研究样品时，得到样品的形貌信息只是解决了一半问题。获得样品的元素组分信息往往也是非常必要的。借助集成、特殊设计的能谱探测器.飞纳电镜能谱一体机 Phenom ProX可以完善解决上述所有问题。

能谱仪是一种基于样品被电子束激发而产生×射线的分析仪器。Phenom的能谱仪无论软件、硬件都是完全集成设计在飞纳电镜能谱一体机Phenom ProX系统中。
Element ldentfication (EID)软件可以使用户实现多点分析，检测样品的元素组分。此外，该软件还可以扩展到元素分析线面扫(mapping)功能。分步操作界面可以帮助用户更方便地收集、导出分析数据。

第六代 Phenom ProX 台式扫描电镜引入了全新一代操作系统，通过改进光路设计，将分辨率提升到新高度。能谱操作界面与能谱算法进一步升级，易于操作，元素分析更快速。在满足材料表面形貌和元素分析的基础上，还可以通过软件控制硬件，实现材料分析自动化。此外，用户可以通过特定的软件从 SEM 图像中快速提取样品特征信息，测量数据、统计图表可以根据选择的格式输出在报告里。